车间净化工程的特性

　　依据电子光学元器件加工工艺的特别要求，必须在超无尘室中试验开展工作中。车间净化工程内可以开展点胶，光刻技术，挥发表层的镀膜及引线键合，清理，烘干处理，电镀工艺，浸蚀，蔓延及碾磨等。

　　车间净化工程各类作用的配置均以达到各种加工工艺规定为前提条件,它具有下列特性:

　　(1)在洁净区和非洁净区防护口配有“TJ—1”型單人按时热冷不锈钢风淋室,它是人员进到超无尘室的净化处理大关。

　　(2)在非洁净区配有更衣间,实际操作工作人员拆换抗静电无菌服后才可进到超无尘室。

　　(3)配有房间内对外开放元器件，物件不锈钢传递窗。

　　(4)房间内总面积达24m2,其工作中洁净度等级达1000级,在部分2m2的光刻技术区，超净工作台及其净化处理上胶机,工作中洁净度等级达100级。

　　(5)房间内用以显影液及清理元器件的工业纯水,是由建在户外的清洁循环水系统引进,该体系以双蒸水为源水,经高精度过虑，紫外线消毒及离子交换法,巨大提升了水体纯净度,其輸出水体电阻≥15MΩ。

　　(6)在工作员身心健康确保层面,超无尘室配有中央空调，净化处理通风系统。点胶台及电镀工艺浸蚀操作台设定了单独的对外开放通风系统,进而也减少了空气污染。空调机组确保了室内湿度≤60%,操作温度维持18℃—25℃。房间内循环系统净化处理排风系统软件及其光刻技术工作区域层流罩循环系统净化设备为房间内洁净度等级给予了确保。

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